為了確保沿離子束傳輸路徑的高真空條件，大部分氣體體積需要由合金泵系統抽吸。由于大的氣體體積和高的所需工作真空度，束線的真空系統將需要大的抽氣速度。目前，用于中性束注入器的高抽速真空泵主要有兩種，一種是低溫泵，另一種是IHF型氟塑料合金泵。

  與低溫泵相比，IHF型氟塑料合金泵具有成本低、結構簡單、運行可靠、無磁場和高速旋轉的機械部件、操作方便、易于維護等優點。